中圖3d輪廓測量儀器由照明光源系統(tǒng)，光學成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構成，是以白光干涉技術為原理，結合具有優(yōu)異抗噪性能的3D重建算法，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

3d輪廓測量儀器可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

粗糙度分析操作步驟：

1. 將樣品放置在夾具上，確保樣品狀態(tài)穩(wěn)定；

2. 將夾具放置在載物臺上；

3. 檢查電機連接和環(huán)境噪聲，確認儀器狀態(tài)；

4. 使用操縱桿調(diào)節(jié)三軸位置，將樣品移到鏡頭下方并找到樣品表面干涉條紋；

5. 完成掃描設置和命名等操作；

6. 點擊開始測量（進入3D視圖窗口旋轉調(diào)整觀察一會）；

7. 進入數(shù)據(jù)處理界面，點擊“去除外形"，采用默認參數(shù)，點擊應用獲取樣品表面粗糙度輪廓；

8. 進入分析工具模塊，點擊參數(shù)分析，直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù)，點擊右側參數(shù)標準可更換參數(shù)標準，增刪參數(shù)類型；

9. 如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù)，則需提取剖面線；

10. 進入數(shù)據(jù)處理界面，點擊“提取剖面"圖標，選擇合適方向剖面線進行剖面輪廓提取；

11. 進入分析工具界面，點擊“參數(shù)分析"圖標，點擊右側參數(shù)標準，勾選所需線粗糙度相關參數(shù)，即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品功能

1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；

2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；

3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；

4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結構分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；

5）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；

6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導出功能。